?激光退火是一種利用激光束對材料進行加熱處理的方法,其目的是通過高溫加熱改變材料的晶體結(jié)構(gòu)和性能。激光退火利用集中的激光束將材料局部加熱至極高溫度,然后迅速冷卻,以實現(xiàn)退火的效果。
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這種方法主要用于半導(dǎo)體加工、表面改性等領(lǐng)域,可以提高材料的性能和質(zhì)量。
激光退火處理方法是通過高能量激光束照射材料表面,使其局部溫度升高到退火溫度以上,然后迅速冷卻,從而改變材料的晶體結(jié)構(gòu)和性能。
這種方法可以用于各種材料的退火處理,包括金屬材料、非金屬材料以及復(fù)合材料等。激光退火處理具有加熱速度快、冷卻速度快、熱影響區(qū)小、加工精度高等優(yōu)點,因此在材料科學(xué)、微電子工業(yè)、表面處理等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。